真空紫外光是指波长小于200纳米的电磁辐射光吗？
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是的，真空紫外光是指波长小于200纳米的电磁辐射光。
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这种辐射为何被称为“真空”紫外光？
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真空紫外光被称为“真空”紫外光，是因为它在大气中会迅速被吸收，无法在普通空气中传播，因此通常在真空中或高度稀薄的气体环境中进行研究和应用。
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请问真空紫外光通常用于哪些科学研究和工业应用？
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真空紫外光通常用于以下科学研究和工业应用：
1. 光谱学：用于分析和研究物质的吸收和激发谱。
2. 表面科学：用于研究材料的表面和界面化学反应。
3. 生物医学：用于某些类型的荧光显微镜和成像技术。
4. 半导体制造：用于光刻技术，特别是在深紫外线（DUV）光刻中。
5. 光源和激光器：作为高能量光子源，用于科研和特定工艺中的高能光子需求。
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